金属研磨保护装置及保护方法、化学机械研磨系统

摘要

一种金属研磨保护装置及保护方法、化学机械研磨系统。所述金属研磨保护装置用于保护CMP设备中的晶圆，包括：喷淋头，所述喷淋头包括多个喷嘴；喷淋管，连接所述喷淋头，用于为所述喷淋头提供对晶圆的保护物质；控制器，连接所述CMP设备和喷淋管，当所述CMP设备停机但仍可控制晶圆进行上升和旋转时，所述控制器控制CMP设备，使晶圆进行上升；且移动所述喷淋管使所述喷淋头位于CMP设备中晶圆待研磨面的下方，并控制所述喷淋管的开启和关闭。本发明在采用CMP设备进行金属研磨而中途停机时，可以有效保护晶圆不受金属腐蚀。

主权项

一种金属研磨保护装置，其特征在于，用于保护CMP设备中的晶圆，包括：喷淋头，所述喷淋头包括多个喷嘴；喷淋管，连接所述喷淋头，用于为所述喷淋头提供对晶圆的保护物质；控制器，连接所述CMP设备和喷淋管，当所述CMP设备停机但仍可控制晶圆进行上升和旋转时，所述控制器控制CMP设备，使晶圆进行上升，且移动所述喷淋管使所述喷淋头位于CMP设备中晶圆待研磨面的下方，并控制所述喷淋管的开启和关闭。