一种LPCVD系统

摘要

本实用新型涉及一种LPCVD系统，具体地讲是涉及一种多片同时镀膜的LPCVD系统。该系统包括装载台、预热腔、工艺腔、冷却腔、卸载台、回传模块以及依次通过上述各部件的传输系统，该传输系统上设有用于同时放置若干片玻璃基板的传输垫板，传输垫板的四周边缘设有挡边条，挡边条以内紧贴挡边条的传输垫板表面以及每片玻璃基板放置处之间的传输垫板表面设有凹槽。本实用新型的系统结构和工艺简单，能够支持多片玻璃基板同时镀膜，大幅降低生产和维护成本，成倍提高了生产效率；同时减少玻璃破碎的机率，即使玻璃破碎也不用开盖维护，避免打乱生产节拍，维持了正常生产。

主权项

一种LPCVD系统，包括装载台、预热腔、工艺腔、冷却腔、卸载台、回传模块以及依次通过上述各部件的传输系统，其特征在于该传输系统上设有用于同时放置若干片玻璃基板的传输垫板，传输垫板的四周边缘设有挡边条，挡边条以内紧贴挡边条的传输垫板表面以及每片玻璃基板放置处之间的传输垫板表面设有凹槽。