| 发明名称 | 固态图像传感器及其制造方法以及照相机 | ||
| 摘要 | 本发明公开了固态图像传感器及其制造方法以及照相机。具有光电转换部分的固态图像传感器的制造方法包括：使用六氯乙硅烷(Si2Cl6)作为原料气体通过低压化学气相沉积方法形成硅氮化物膜，使得所述硅氮化物膜覆盖所述光电转换部分的至少一部分。 | ||
| 申请公布号 | CN103107176A | 申请公布日期 | 2013.05.15 |
| 申请号 | CN201210375335.2 | 申请日期 | 2012.09.29 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 庄山敏弘 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李向英 |
| 主权项 | 一种具有光电转换部分的固态图像传感器的制造方法，所述方法包括：使用六氯乙硅烷(Si2Cl6)作为原料气体通过低压化学气相沉积方法形成硅氮化物膜，使得所述硅氮化物膜覆盖所述光电转换部分的至少一部分。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||