| 摘要 |
本发明的课题是在于提供一种安定且短时间可变更装置的状态之电浆处理装置及电浆处理装置的运转方法。;具有干预处理容器内的电浆之输出高频的复数个高频电源，依序阶段性地增大该等的输出电力，藉由所取得的电浆来对被处理体进行处理之电浆处理装置，系按各高频电源设置的高频电源单元包含：高频电源及控制其输出的电力控制部、以及计测反射波的电力值的反射波计测手段，更具备：判断各反射波的计测电力值是否成为临界值以下的手段、及有关1阶段增大输出电力的顺序到来时的一高频电源，在其他的高频电源的反射波的计测电力值成为临界值以下之后，经过预定设定的时间时将用以1阶段增大该一高频电源的输出电力的时序讯号赋予上述电力控制部的手段。 |
