发明名称 |
用于反应环境视口视窗减少视窗模糊效应的方法和装置 |
摘要 |
提供了多通道阵列结构和一种机制,用于在多通道阵列中建立黏滞流来阻止导致视窗模糊的微粒流入。提供反应腔体用于将反应压力限制在反应容积中,沿着该腔体具有视口视窗用于查看至少部分反应容积。在反应腔体中设置有进入口,连接至反应容积,用于在反应容积中接收反应气体,而排出口设置在反应腔体中,连接至反应容积用于从反应容积提取出气体流。多通道阵列(MCA)设置在视口视窗和反应腔体的反应容积之间。MCA具有多个通道,每个通道具有直径和长度。 |
申请公布号 |
TWI395830 |
申请公布日期 |
2013.05.11 |
申请号 |
TW097115708 |
申请日期 |
2008.04.29 |
申请人 |
真实仪器公司 美国 |
发明人 |
凯尼斯 哈飞 |
分类号 |
C23C14/52;C23C16/52;G01J1/00;B01J19/00 |
主分类号 |
C23C14/52 |
代理机构 |
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代理人 |
赖安国 台北市信义区东兴路37号9楼;李政宪 台北市信义区东兴路37号9楼;吴柏昇 台北市信义区东兴路37号9楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |