发明名称 用于反应环境视口视窗减少视窗模糊效应的方法和装置
摘要 提供了多通道阵列结构和一种机制,用于在多通道阵列中建立黏滞流来阻止导致视窗模糊的微粒流入。提供反应腔体用于将反应压力限制在反应容积中,沿着该腔体具有视口视窗用于查看至少部分反应容积。在反应腔体中设置有进入口,连接至反应容积,用于在反应容积中接收反应气体,而排出口设置在反应腔体中,连接至反应容积用于从反应容积提取出气体流。多通道阵列(MCA)设置在视口视窗和反应腔体的反应容积之间。MCA具有多个通道,每个通道具有直径和长度。
申请公布号 TWI395830 申请公布日期 2013.05.11
申请号 TW097115708 申请日期 2008.04.29
申请人 真实仪器公司 美国 发明人 凯尼斯 哈飞
分类号 C23C14/52;C23C16/52;G01J1/00;B01J19/00 主分类号 C23C14/52
代理机构 代理人 赖安国 台北市信义区东兴路37号9楼;李政宪 台北市信义区东兴路37号9楼;吴柏昇 台北市信义区东兴路37号9楼
主权项
地址 美国