| 发明名称 | 用于用干涉测量法测量物体的装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于用干涉测量法测量物体的装置，包括产生输出射线的辐射源、将输出射线分成测量射线和参考射线的分光器装置、以及光学叠加装置和第一检测器，光学叠加装置和第一检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地反散的测量射线和第一参考射线在第一检测器的至少一个检测面上叠加。分光器装置构造成用于将输出射线分成测量射线、第一参考射线和至少一个第二参考射线，所述装置具有至少一个第二检测器，光学叠加装置和第二检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地散射的测量射线作为第一接收射线和第二参考射线在第二检测器的至少一个检测面上叠加。此外本发明还涉及一种用于用干涉测量法测量物体的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN103090786A | 申请公布日期 | 2013.05.08 |
| 申请号 | CN201210434215.5 | 申请日期 | 2012.11.02 |
| 申请人 | 综合工艺有限公司 | 发明人 | 马西亚斯·许斯勒;克里斯蒂安·伦贝;亚历山大·德雷本施泰特;罗伯特·科瓦尔施;万贾·奥赫斯 |
| 分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人 | 归莹;张颖玲 |
| 主权项 | 一种用于用干涉测量法测量物体的装置，包括：用于产生输出射线的辐射源，将输出射线分成测量射线和第一参考射线的分光器装置，光学叠加装置和第一检测器，其中，光学叠加装置和第一检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地反散的测量射线和第一参考射线在第一检测器的至少一个检测面上叠加，其特征在于，分光器装置构造成用于将输出射线分成测量射线、第一参考射线和至少一个第二参考射线，所述装置具有至少一个第二检测器，光学叠加装置和第二检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地散射的测量射线作为第一接收射线和第二参考射线在第二检测器的至少一个检测面上叠加。 | ||
| 地址 | 德国瓦尔德布龙 | ||