| 发明名称 | 线锯控制系统和线锯 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种线锯控制系统和线锯。提供给一种用于操作线锯(100)的线锯控制系统(1)。线锯适用于通过以可选择的线速度将线(230)相对于晶片移动而切割晶片(304、304、306、308)。线锯控制系统包括用于检查线的照相机(20)；和用于根据线速度来操作照相机的照相机控制单元(25)。此外，提供一种包括线锯控制系统的线锯以及用于检查线锯的线的方法。该方法包括以可变的线速度移动线；并且根据线速度来检查线，由此获得检查结果。 | ||
| 申请公布号 | CN103085185A | 申请公布日期 | 2013.05.08 |
| 申请号 | CN201110459141.6 | 申请日期 | 2011.12.23 |
| 申请人 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 发明人 | 菲利普·那斯卡;吉恩-马克·罗斯特 |
| 分类号 | B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I | 主分类号 | B28D7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种用于操作线锯的线锯控制系统，所述线锯适合于通过以可选择的线速度将线相对于晶片移动而切割所述晶片，所述线锯控制系统包括：a)用于检查所述线的照相机；b)用于根据线速度来操作所述照相机的照相机控制单元。 | ||
| 地址 | 瑞士洛桑市 | ||