磁盘用玻璃衬底及其制造方法

摘要

本发明涉及磁盘用玻璃衬底及其制造方法，所述方法包括：在供应含研磨材料的研磨浆体的同时，对圆形玻璃板的主面进行研磨的步骤，其中在对研磨面进行修整处理之后，使用研磨垫进行研磨，所述研磨垫具有：形成所述研磨面的第一树脂泡沫层，所述第一树脂泡沫层的厚度为400μm以下；和在用于固定所述研磨垫的台板和所述第一树脂泡沫层之间设置的第二树脂泡沫层，所述第二树脂泡沫层的厚度为50～250μm，以及其中所述第一树脂泡沫层和所述第二树脂泡沫层的总厚度为550μm以下，且通过JIS K6253规定的M法测定的所述研磨垫的国际橡胶硬度为40IRHD以上。

主权项

制造磁盘用玻璃衬底的方法，所述方法包括：在供应含研磨材料的研磨浆体的同时，对圆形玻璃板的主面进行研磨的步骤，其中在对研磨垫的研磨面进行修整处理之后，使用所述研磨垫进行研磨，所述研磨垫仅具有：形成所述研磨面的第一树脂泡沫层，所述第一树脂泡沫层包括具有孔的树脂泡沫，所述孔的孔径为大于20μm，且所述第一树脂泡沫层的厚度为400μm以下；和在用于固定所述研磨垫的台板和所述第一树脂泡沫层之间设置的第二树脂泡沫层，所述第二树脂泡沫层包括具有孔的树脂泡沫，所述孔的孔径为20μm以下，且所述第二树脂泡沫层的厚度为50～250μm，以及所述第二树脂泡沫层在厚度为200μm时的压缩率为3％以下，以及其中所述研磨垫的总厚度为550μm以下，且通过由JIS K6253规定的M法测定的所述研磨垫的国际橡胶硬度为40IRHD以上。