一种用于吸取MEMS芯片的吸嘴

摘要

本实用新型提供一种用于吸取MEMS芯片的吸嘴，其中所述MEMS芯片包括一感应膜区域，所述吸嘴包括吸嘴本体，在吸嘴本体内形成有供吸取芯片的气体通过的气体通道，在吸嘴的末端自吸嘴表面围绕所述气体通道向内凹陷形成一个与所述气体通道连通的避空槽，所述避空槽的面积大于所述感应膜区域的面积。由于避空槽的面积比欲吸取的芯片的感应膜的面积大，这样当吸嘴贴敷于芯片上吸取芯片时，吸嘴的边缘会避开芯片表面感应膜而作用于芯片四周的实体区域，从而避免吸嘴边缘损坏芯片表面感应膜的问题。形成避空槽之后，吸嘴最下端的避空槽与芯片之间即形成避空槽面积的吸腔，这样的吸嘴，吸取芯片时真空充足从而不会出现吸取后芯片掉落的情况。

主权项

一种用于吸取MEMS芯片的吸嘴，其中所述MEMS芯片设有硅层，所述硅层上表面形成一感应膜区域，所述吸嘴包括吸嘴本体，和在所述吸嘴本体内形成有供吸取芯片的气体通过的气体通道，其特征在于：在吸嘴的末端自吸嘴表面围绕所述气体通道向内凹陷形成一个与所述气体通道连通的避空槽，所述避空槽的面积大于所述感应膜区域的面积。