| 发明名称 | 制造压印模的方法和使用压印模形成图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及制造压印模的方法和使用压印模来形成图案的方法。公开了一种制造压印模的方法。该方法包括以下工序：在基板上形成第一光刻胶图案；使用第一光刻胶图案作为刻蚀掩模来刻蚀基板，以在基板中形成第一图案；对第一光刻胶图案进行灰化以形成第二光刻胶图案；以及使用第二光刻胶图案来刻蚀基板以形成从基板得到的第二图案和从第一图案得到的第三图案。 | ||
| 申请公布号 | CN102096314B | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN201010583298.5 | 申请日期 | 2010.12.10 |
| 申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 张斗熙;权当;赵恒燮;金淏洙 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;张旭东 |
| 主权项 | 一种制造压印模的方法，该方法包括以下工序：在基板上形成第一光刻胶图案；使用所述第一光刻胶图案作为刻蚀掩模来刻蚀所述基板，以在所述基板中形成第一图案；对所述第一光刻胶图案进行灰化以形成第二光刻胶图案；以及使用所述第二光刻胶图案来刻蚀所述基板，以形成从所述基板得到的第二图案和从所述第一图案得到的第三图案，其中，所述第二图案形成为具有第一深度，所述第三图案形成为具有比所述第二图案的深度更深的第二深度；其中通过再次蚀刻具有所述第一深度的第一图案形成具有所述第二深度的第三图案。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||