发明名称 |
一种复合掩模板 |
摘要 |
本实用新型公开了一种复合掩模板,所述复合掩模板,包括掩模层和支撑层,其中,所述掩模层包括有开口,所述开口构成掩模板图案区;所述支撑层包括有与所述掩模层开口相对应的支撑条,所述支撑层与所述掩模层紧密结合,起到对所述掩模层支撑作用,且所述支撑层不会对所述开口形成遮挡。现有技术在制作大尺寸掩模板,其金属型的掩模主体会具有较大的质量,从而会导致掩模主体板面产生下垂,而根据本实用新型提供的复合掩模板,可以对下垂的掩模主体提供一定的支撑力,降低或弥补掩模主体板面产生下垂的情况,改善产品的精度、质量,并提高良品率。 |
申请公布号 |
CN202913046U |
申请公布日期 |
2013.05.01 |
申请号 |
CN201220454497.0 |
申请日期 |
2012.09.07 |
申请人 |
昆山允升吉光电科技有限公司 |
发明人 |
魏志凌;高小平;张炜平 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种复合掩模板,包括掩模层和支撑层,其特征在于,所述掩模层包括有开口,所述开口构成掩模板图案区;所述支撑层包括有与所述掩模层开口相对应的支撑条,所述支撑层与所述掩模层紧密结合,起到对所述掩模层支撑作用,且所述支撑层不会对所述开口形成遮挡。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 |