发明名称 压力传感器的陶瓷复合弹性体的制备方法及原料混合装置
摘要 压力传感器的陶瓷复合弹性体的制备方法及其原料混合装置,方法是将预混合的微米级二氧化锆和微米级三氧化二铝经气相混合,以均匀喷雾的形式输出,得陶瓷复合弹性体的原料粉,烧制即可;所述微米级二氧化锆和微米级三氧化二铝的质量比为1∶0.25~7.5。混合装置的预混料仓通过管道(52)与三通负压发生器连接,三通负压发生器还通过管道(51)、(53)分别与集料仓、压缩空气发生装置连接。本发明技术的陶瓷复合弹性体制备方法和装置适应了传感网和工业自动化控制对高灵敏度和高可靠性压力传感器的需要。
申请公布号 CN101928140B 申请公布日期 2013.05.01
申请号 CN201010208526.0 申请日期 2010.06.24
申请人 无锡市中昊微电子有限公司 发明人 徐兴才;徐雷
分类号 G01L1/18(2006.01)I;C04B35/48(2006.01)I;C04B35/10(2006.01)I 主分类号 G01L1/18(2006.01)I
代理机构 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 代理人 夏晏平
主权项 压力传感器的陶瓷复合弹性体的制备方法,将预混合的微米级二氧化锆和微米级三氧化二铝经气相混合,以均匀喷雾的形式输出,得陶瓷复合弹性体的原料粉,烧制即可;所述微米级二氧化锆和微米级三氧化二铝的质量比为1:0.25~7.5。
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