薄膜沉积设备

摘要

本发明公开了一种薄膜沉积设备。该设备包括：沉积源，其存储沉积材料并将沉积材料排放到玻璃面板上；温度控制器，其设置成邻近玻璃面板，并控制玻璃面板的温度或玻璃面板附近区域的温度；以及隔间，其包含沉积源和温度控制器。温度控制器将玻璃面板和玻璃面板附近区域的温度维持在适当温度，从而引导沉积材料有效率地沉积到玻璃面板上，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的沉积效率和均匀性。

主权项

一种薄膜沉积设备，包括：至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到玻璃面板上；至少一个温度控制器，设置成邻近所述玻璃面板，以控制所述玻璃面板的温度或所述玻璃面板的附近区域的温度；以及至少一个隔间，每个所述隔间均包含沉积源和所述温度控制器。