一种P型硅衬底的双PIN结双面太阳能电池

摘要

本发明公开了一种P型硅衬底的双PIN结双面太阳能电池，包括P型硅衬底，P型硅衬底上下两个表面上均制成绒面，P型硅衬底上表面的绒面上高温磷扩散掺杂，并自下而上依次隔离层I、N型掺杂层、隔离层I和N-型掺杂层四层结构；最上一层再用PECVD技术实现SiN减反射膜；其中要在最后实行埋电极与输出极的制备；P型硅衬底下表面绒面上自上而下进行背面的高温硼扩散掺杂，依次形成隔离层I、P型掺杂层、P+型掺杂层的三层结构。

主权项

一种P型硅衬底的双PIN结双面太阳能电池，其特征在于：包括P型硅衬底，P型硅衬底上下两个表面上均设有绒面，在P型硅衬底上表面的绒面上进行高温磷扩散掺杂，并自下而上依次形成隔离层I、N型掺杂层、隔离层I和N‑型掺杂层四层结构；最上一层再用PECVD技术实现SiN减反射膜；其中要在最后实行埋电极与输出极的制备；P型硅衬底下表面绒面上进行背面的高温硼扩散掺杂，自上而下依次形成隔离层I、P型掺杂层、P+型掺杂层的三层结构。