| 发明名称 |
Selective removal of material using cathodic sputtering |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3271286(A) |
申请公布日期 |
1966.09.06 |
| 申请号 |
US19640347173 |
申请日期 |
1964.02.25 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED |
发明人 |
LEPSELTER MARTHIN P. |
| 分类号 |
H01J37/34;H01L21/00;H01L21/764;H01L23/485;H01L23/522;H01L27/06;H01L29/00 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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