区熔炉加热装置的电极

摘要

本实用新型提供一种区熔炉加热装置的电极，涉及电加热技术领域，解决了现有加热装置中电极的输出效率低，且电极间易产生拉弧放电现象，导致区熔炉的安全性降低的问题。本实用新型中，由于电极绝缘套能使柱状本体与第一电极下头、电极筒及第一电极法兰电绝缘，并在第一和第二电极下头之间设置了第一电极绝缘片、在第一和第二电极法兰之间设置了第二电极绝缘片，使第一电极和第二电极通过固体绝缘材料相互电绝缘，绝缘性能好，避免了拉弧放电现象，提升了区熔炉的安全性，且电极筒安置于柱状本体内部，使电磁分布集中在柱状本体内部，极大减少高频电源输出损耗，提高高频电源输出功率。本实用新型主要用在对硅材料进行提纯和单晶生长的区熔炉中。

主权项

一种区熔炉加热装置的电极，其特征在于，包括：柱状本体、第一电极下头、第二电极下头、第一电极法兰、第二电极法兰、电极筒、第一电极绝缘片、第二电极绝缘片及电极绝缘套；所述柱状本体内设有互不连通的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔的轴线、所述第二通孔的轴线及所述柱状本体的轴线相互平行；所述电极筒穿过所述第一通孔，所述电极绝缘套设在所述第一通孔内，位于所述第一通孔内壁与所述电极筒外壁之间，使所述电极筒安置于所述柱状本体内部；所述第一电极下头的一端连接所述电极筒的一端；所述电极筒的另一端连接所述第一电极法兰；所述电极绝缘套用于将所述柱状本体与所述第一电极下头、所述电极筒及所述第一电极法兰电绝缘；所述第二电极法兰的一端插入所述第二通孔的一端，所述第二电极下头的一端插入所述第二通孔的另一端；所述第一电极绝缘片位于所述第一电极下头和所述第二电极下头之间，用于使所述第一电极下头与所述第二电极下头电绝缘；所述第二电极绝缘片位于所述第一电极法兰和所述第二电极法兰之间，用于使所述第一电极法兰与所述第二电极法兰电绝缘。