| 发明名称 | 用于热丝化学气相沉积系统的终端连接器 | ||
| 摘要 | 本文提供用于在热丝化学气相沉积(HWCVD)系统中的终端连接器。在一些实施例中，一种用于热丝化学气相沉积(HWCVD)系统的终端连接器可包括：基底；丝夹，所述丝夹沿轴相对于所述基底可移动地安置；反射罩，所述反射罩沿所述轴从所述丝夹沿第一方向延伸；以及张紧装置，所述张紧装置耦接至所述基底和丝夹，以沿与所述第一方向相反的第二方向偏移所述丝夹。 | ||
| 申请公布号 | CN202881386U | 申请公布日期 | 2013.04.17 |
| 申请号 | CN201220223725.3 | 申请日期 | 2012.05.11 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 普拉文·纳尔万卡尔;维克多·普什帕;迪特尔·哈斯 |
| 分类号 | C23C16/48(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/48(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;钟强 |
| 主权项 | 一种用于热丝化学气相沉积系统的终端连接器，所述终端连接器包括： 基底； 丝夹，所述丝夹沿轴相对于所述基底可移动地安置； 反射罩，所述反射罩沿所述轴从所述丝夹沿第一方向延伸；以及 张紧装置，所述张紧装置耦接至所述基底和丝夹，以沿与所述第一方向相反的第二方向偏移所述丝夹。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||