硅基液晶屏生产系统及其生产方法

摘要

本发明公开了硅基液晶屏生产系统及其生产方法，本方法包括(1)基板清洗步骤：氧化铟锡玻璃与硅晶圆交替输送进入聚酰亚胺涂覆前清洗机完成清洗；(2)将清洗后的氧化铟锡玻璃和硅晶圆依次进行涂覆、烘干、摩擦，干法超声清洗；(3)将清洗后的氧化铟锡玻璃和硅晶圆送入玻璃/硅晶圆分流系统，氧化铟锡玻璃输送进入紫外框胶滴胶机，硅晶圆和完成在氧化铟锡玻璃上涂布图案框胶加工的氧化铟锡玻璃进行硅基液晶屏贴合加工，然后完成框胶曝光固化；(4)经过框胶曝光的硅基液晶屏依次进行框胶再固化、密封、密封胶水固化处理；(5)经过密封胶水固化处理的硅基液晶屏进行灌晶制得反射式液晶显示器，采用本方法提高了硅基液晶屏组装品质。

主权项

硅基液晶屏生产系统,其特征在于：它包括依次相连的氧化铟锡玻璃上料机架、聚酰亚胺涂覆前清洗机、聚酰亚胺凸版印刷机、聚酰亚胺预烘烤热板传输线、聚酰亚胺坚膜无尘烘箱、聚酰亚胺摩擦机、聚酰亚胺摩擦后干法超声清洗机、玻璃/硅晶圆分流系统、基板正压贴合机、紫外框胶曝光机、框胶坚膜烘箱、基板密封滴胶机、紫外密封胶曝光机、激光切割标识机、硅晶圆切割机、氧化铟锡玻璃划片机、裂片机、灌晶机、紫外胶封口滴胶机，紫外胶封口曝光机，聚酰亚胺涂覆前清洗机的另一进料端与硅晶圆上料机架出料端相连；玻璃/硅晶圆分流系统的另一工件输出端与紫外框胶滴胶机工件输入端相连并且紫外框胶滴胶机工件输出端能够将在紫外框胶滴胶机内涂覆了图案胶框的氧化铟锡玻璃输出到基板正压贴合机的玻璃架上，所述的基板正压贴合机包括贴合控制系统、摄像头集成器、x/y/θ动力平台、贴合微动台辅助系统和贴合微动台，所述摄像头集成器包括左摄像头和右摄像头，所述贴合微动台辅助系统包括贴合结构底座，在所述的贴合结构底座中间固定连接有微动台B柱并且在贴合结构底座两侧分别固定连接有微动台A柱、微动台C柱，在所述的微动台B柱顶面的两端设置有铰链支撑，在所述的铰链支撑上转动的连接有贴合结构铰链转轴，玻璃架架设在微动台B柱和微动台C柱的顶面上并且玻璃架架设在微动台B柱的一端与所述贴合结构铰链转轴固定相连，玻璃架能够绕所述贴合结构铰链中轴线转动并分别与所述微动台C柱、所述微动台A柱的顶面相接触配合，在所述的玻璃架内开有玻璃架真空腔，在所述的玻璃架顶面上开有多个与玻璃架真空腔相连通的玻璃架真空孔，在所述玻璃架上连接有与玻璃架真空腔相连通的真空排气孔B；所述的贴合微动台包括安装在所述x/y/θ动力平台上的硅晶圆承片托气缸，所述的x/y/θ动力平台位于所述微动台A柱与微动台B柱之间，硅晶圆承片托下部插在所述的硅晶圆承片托气缸内，硅晶圆承片托活塞密封圈设置在所述硅晶圆承片托气缸与所述硅晶圆承片托之间并且与所述硅晶圆承片托气缸、硅晶圆承片托的接触面形成紧配合,由硅晶圆承片托气缸、硅晶圆承片托和硅晶圆承片托活塞密封圈形成的封闭空间构成硅晶圆承片托气腔，进气孔A设置在所述硅晶圆承片托气缸上且与所述硅晶圆承片托气腔相连通，在所述的硅晶圆承片托上部开有硅晶圆 承片托真空腔，硅晶圆承片托顶面上开有与硅晶圆承片托真空腔相连通的硅晶圆承片托真空孔，连接在硅晶圆承片托上的真空排气孔A与硅晶圆承片托真空腔相连通；所述的贴合微动台能够随着所述的x/y/θ动力平台在所述贴合控制系统的作用下沿x轴、y轴方向移动并且能够围绕所述贴合微动台中心点在x轴和y轴构成的平面内做至少10度的往复旋转，所述的摄像头集成器能够获取设置在所述的硅晶圆承片托上的硅晶圆与设置在玻璃架上的氧化铟锡玻璃的图案胶框的相对位置图像信号并将该图像信号输出给工控机，工控机A通过x/y/θ动力平台驱动总线与x/y/θ动力平台相连接并且通过微动台面板控制总线与微动台面板相连接；所述的紫外框胶曝光机包括曝光台、曝光控制系统、曝光台扫描动力系统和紫外灯集成器，所述曝光台包括其底部固定在曝光台基座上的硅基液晶屏承载盘气缸，在所述的硅基液晶屏承载盘气缸的顶部两侧分别固定有曝光台A柱和曝光台B柱，用于放置硅基液晶屏的硅基液晶屏承载盘的下部插在所述的硅基液晶屏承载盘气缸内，硅基液晶屏承载盘活塞密封圈设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸内壁与所述硅基液晶屏承载盘外壁之间并且与所述硅基液晶屏承载盘气缸和硅基液晶屏承载盘接触面均形成紧配合，由硅基液晶屏承载盘、硅基液晶屏承载盘活塞密封圈与硅基液晶屏承载盘气缸形成的密闭空间构成硅基液晶屏承载盘气腔，进气孔B设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸上且与硅基液晶屏承载盘气腔相连通，在所述的硅基液晶屏承载盘的上部开有硅基液晶屏承载盘真空腔，多个硅基液晶屏承载盘真空孔开在硅基液晶屏承载盘顶面上并与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，安装在硅基液晶屏承载盘上的真空排气孔C与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，曝光台铰链转轴的两端分别与固定在所述的曝光台B柱顶面上的两个铰链支撑件转动相连，所述曝光台还包括其中央镶嵌有直径尺寸不小于氧化铟锡玻璃直径尺寸的透明石英玻璃的盖板架，所述盖板架的一侧与所述的曝光台铰链转轴转动相连并且盖板架的另一侧架设在安装在曝光台基座上的曝光台C柱上，所述的盖板架能够绕所述曝光台铰链中轴线逆时针旋转180度后接触到所述曝光台A柱顶面与之相接触配合，所述曝光台基座与曝光台扫描动力系统相连并且在所述曝光台扫描动力系统的驱动下能够沿x轴和y轴方向运动，工控机B通过紫外光源总线与至少由6只紫外灯构成的紫外灯集成器相连，所述曝光台与所述的紫外灯集成器相对设置以使紫外灯能够照射到安装在硅基液晶屏承载盘顶部的氧 化铟锡玻璃上的图案框胶，工控机B通过扫描动力系统总线与所述曝光台扫描动力系统相连接并且工控机B通过曝光机面板控制总线与曝光机面板控制器相连接。