发明名称 |
半导体面发光元件以及其制造方法 |
摘要 |
本发明所涉及的半导体面发光元件其特征在于具备:光子晶体层(6),周期性地将多个孔(H)形成于由闪锌矿型结构的第1化合物半导体构成的基本层(6A)内,并且使由闪锌矿型结构的第2化合物半导体构成的埋入层(6B)在孔(H)内生长;活性层(4),对光子晶体层(6)提供光;基本层(6A)的主表面为(001)面,孔(H)的侧面具有至少不同的3个{100}面。 |
申请公布号 |
CN103038959A |
申请公布日期 |
2013.04.10 |
申请号 |
CN201180037546.9 |
申请日期 |
2011.06.21 |
申请人 |
浜松光子学株式会社;国立大学法人京都大学 |
发明人 |
广瀬和义;古田慎一;渡边明佳;杉山贵浩;柴田公督;黑坂刚孝;野田进 |
分类号 |
H01S5/18(2006.01)I;H01L33/22(2006.01)I |
主分类号 |
H01S5/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
杨琦 |
主权项 |
一种半导体面发光元件,其特征在于:具备:光子晶体层,周期性地将多个孔形成于由闪锌矿型结构的第1化合物半导体构成的基本层内,并且使由闪锌矿型结构的第2化合物半导体构成的埋入层在所述孔内生长而成;和活性层,对所述光子晶体层提供光,所述基本层的主表面为(001)面,所述孔的侧面包含至少不同的3个{100}面或者围绕所述主表面的法线以小于±35度的旋转角度使这些面旋转的面。 |
地址 |
日本静冈县 |