基板托架及基板检测装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种基板托架及基板检测装置，涉及机械领域，可保证基板被每一个基板托架所支撑，可减小基板由于对位校正装置的调整而损坏的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。该基板托架包括：托架本体，托架本体包括固定部、连接部和延伸部，固定部具有第一通孔，通过第一通孔及螺钉将托架本体固定于基板检测装置上，固定部位于连接部的一侧，与连接部垂直；延伸部位于连接部的另一侧，向与固定部所在之处相反的方向延伸，与连接部垂直，并且延伸部具有腰形通孔；滑动部件，滑动部件为平板状结构，滑动部件具有第二通孔，滑动部件与托架本体的延伸部通过依次穿过第二通孔、托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合。

主权项

一种基板托架，其特征在于，包括：托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰形通孔；滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。