薄膜状工件的除水系统

摘要

一种薄膜状工件的除水系统，能够实现系统整体构造的简单化、小型化，能够可靠地除去工件表面及背面的水分并提高成品率和生产性。本发明的薄膜状工件的除水系统包括：除水头（200A、200B），其具有将高压气体从喷射嘴向工件（W）的一面方向喷射的喷射单元、从吸引嘴吸引到达了工件的一面的高压气体的吸引单元；供给侧气体流路（103、106A、106B），其向喷射单元供给高压气体；回收侧气体流路（107A、107B、108），其将被吸引的高压气体回收；搬运装置，其搬运工件，通过以工件依次通过除水头的附近的方式搬运工件，利用高压气体从工件的表面及背面脱离后的水分与高压气体一同经由所述吸引嘴以及回收侧气体流路而被回收。

主权项

一种薄膜状工件的除水系统，其用于将附着在薄膜状工件的表面及背面的水分除去，其特征在于，包括：多个除水头，其具有将高压气体从喷射嘴向所述工件的一面方向喷射的喷射单元、和从吸引嘴吸引到达了所述工件的一面的高压气体的吸引单元；供给侧气体流路，其将高压气体向所述喷射单元供给；回收侧气体流路，其将被所述吸引单元吸引的高压气体回收；搬运装置，其搬运所述工件，通过以所述工件的表面与一个所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴相对、所述工件的背面与其他的所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴相对的方式搬运所述工件，利用高压气体而从所述工件的表面及背面剥离后的水分与高压气体一同经由所述吸引嘴以及所述回收侧气体流路而被回收。