高精度蓝宝石卧式粘料定向仪

摘要

高精度蓝宝石卧式粘料定向仪，包括X射线管、测晶平台、计数器、放大器、数显器、测量光路和设置于测晶平台上用于粘结晶棒的粘料机构，其测量光路为X射线管发出的X射线经单色器、以晶棒C面为检测面的被测晶棒至计数器构成，粘料机构包括平台上的托板、滑板和滑板上的料板定位机构，滑板与托板之间通过精密导轨滑动配合，精板的料板定位机构中设有电磁铁。本技术具有晶棒粘板精度高、便于操作、测量工作效率高的优点，并可使操作误差降至最低。

主权项

高精度蓝宝石卧式粘料定向仪，包括X射线管(1)、测晶平台(7)、计数器(4)、数显器(5)、测量光路及粘料机构，其特征在于所述的测量光路为由X射线管(1)发出的X射线经单色器(2)、被测晶棒(3)至计数器(4)构成，所述的粘料机构包括平台上的托板(9)、滑板(10)，托板(9)上固定有横跨滑板(10)之上的横粱(11)，横梁（11）上设有晶棒C面的定位顶针(6)和微调晶棒角的微调器(12)。