一种移动式空气化学过滤装置

摘要

本实用新型提出一种移动式空气化学过滤装置，其特征在于，包括移动平台、化学过滤器、风机和电源，其中，所述风机设置在所述移动平台上放置电子元器件部位的上方；所述化学过滤器设置在所述风机上方；空气经过所述化学过滤器净化后由风机向下吹送，为放置于移动平台上的电子元器件提供净化后的空气；所述电源为风机供电。本实用新型通过改进化学过滤器的布置，对特定产品进行有效防护，以保证电子元器件，如晶圆、光罩等，在传送过程中能得到全面的防护。

主权项

一种移动式空气化学过滤装置，其特征在于，包括移动平台、化学过滤器、风机和电源，其中所述风机设置在所述移动平台上放置电子元器件部位的上方；所述化学过滤器设置在所述风机上方；空气经过所述化学过滤器净化后由风机向下吹送，为放置于移动平台上的电子元器件提供净化后的空气；所述电源为风机供电。