MAGNETRON SPUTTERING APPARTUS,申请号KR20100035317-传众专利搜索

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发明名称	MAGNETRON SPUTTERING APPARTUS
摘要
申请公布号	KR101250950(B1)	申请公布日期	2013.04.03
申请号	KR20100035317	申请日期	2010.04.16
申请人		发明人
分类号	C23C14/34;C23C14/35	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
地址

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