用于自动确定最优参数化的散射测量模型的方法

摘要

提供了用于分析具有未知参数的样本衍射结构的散射测量模型优化参数的自动确定。预处理器根据多个浮动的模型参数，确定简化的模型参数集合，该简化的模型参数集合能够基于从关于每个参数的测得的光谱信息的雅克比矩阵中确定的用于每个参数的相对精度，合理地在散射测量模型中浮动。在考虑组合的参数间的相关性的情况下，确定用于每个参数的相对精度。

主权项

一种用于识别散射测量模型参数集合的方法，所述散射测量模型参数将在散射测量分析期间浮动以使模型适应于测得的光谱信息，所述方法包括：接收所述测得的光谱信息；接收具有多个（N个）模型参数的散射测量模型；计算所述测得的光谱信息的雅克比矩阵，该雅克比矩阵包含针对所述多个模型参数的每个模型参数的列；基于根据所述雅克比矩阵确定的针对多个参数组合中的每个模型参数的精度度量来识别模型参数集合，其中所述模型参数集合的每个参数将被固定为修订的散射测量模型中的预设参数值；以及使用所述修订的散射测量模型在所述测得的光谱信息上运行回归来生成仿真的光谱信息。