激光加工方法

摘要

一种激光加工方法，是使激光（L）聚光于由玻璃形成的加工对象物（1）的内部而形成改质区域（7），沿着该改质区域（7）进行蚀刻，由此在加工对象物（1）形成贯通孔（24）的激光加工方法，其包含：褐变工序，使加工对象物（1）的至少一部分通过褐变而变色；激光聚光工序，在褐变工序之后，使激光（L）聚光于加工对象物（1），由此在加工对象物（1）的变色部分形成改质区域（7）；以及蚀刻处理工序，在激光聚光工序之后，对加工对象物（1）实施蚀刻处理，由此沿着改质区域（7）使蚀刻选择性地进展而形成贯通孔（24）。

主权项

一种激光加工方法，其特征在于，是使激光聚光于由玻璃形成的加工对象物的内部而形成改质区域，沿着该改质区域进行蚀刻，由此在所述加工对象物形成贯通孔的激光加工方法，其包含：褐变工序，使所述加工对象物的至少一部分通过褐变而变色；激光聚光工序，在所述褐变工序之后，使所述激光聚光于所述加工对象物，由此在所述加工对象物的变色部分形成所述改质区域；以及蚀刻处理工序，在所述激光聚光工序之后，对所述加工对象物实施蚀刻处理，由此沿着所述改质区域使所述蚀刻选择性地进展而形成所述贯通孔。