发明名称 一种微波器件陶瓷基板材料及其制备方法
摘要 一种微波器件陶瓷基板材料及其制备方法,属于电子材料技术领域。微波器件陶瓷基板材料包含主晶相和改性添加剂;主晶相化学通式为Mg1+xCoyTiO3+x+y,其中0.01<x<0.05、0.001<y<0.01;改性添加剂为CeO2、Nb2O5、Nd2O3、ZnO、MnCO3、SiO2中的一种或几种,其质量占整个微波器件陶瓷基板材料总质量的0.0~4.0%。其制备方法包括配料、球磨、造粒、成型、烧结过程。所述微波器件陶瓷基板材料具有较高Q×f值(80000~10000),中等介电常数(17~20)和系列化的介电常数温度系数(0~110),适用于制作微波器件的基板材料,能够满足微波器件(尤其是微带滤波器)制作要求。所述制备方法具有简单、易控、环保和成本低廉的特点。
申请公布号 CN102503406B 申请公布日期 2013.04.03
申请号 CN201110359697.8 申请日期 2011.11.14
申请人 电子科技大学 发明人 唐斌;周晓华;钟朝位;张树人
分类号 C04B35/465(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/63(2006.01)I 主分类号 C04B35/465(2006.01)I
代理机构 电子科技大学专利中心 51203 代理人 葛启函
主权项 一种微波器件陶瓷基板材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:Mg1+xCoyTiO3+x+y主晶相粉料合成;以纯度分别为99%的碱式碳酸镁、99.5%的二氧化钛和99.5%三氧化二钴为起始原料,控制Mg、Co与Ti之间的摩尔比为Mg:Co:Ti=(1+x):y:1,其中0.01<x<0.05、0.001<y<0.01,球磨混合均匀后在900~1100℃下保温预烧2~4小时,随炉冷却得到Mg1+xCoyTiO3+x+y主晶相粉料;步骤2:将步骤1所得主晶相粉料与CeO2、Nb2O5、Nd2O3、ZnO、MnCO3、SiO2中的一种或几种组成的改性添加剂球磨混合均匀后造粒、成型,得到生坯料;其中所述改性添加剂的加入量占所述主晶相粉料与所述改性添加剂质量总和的0.0~4.0%;步骤3:烧结;将步骤2所得生坯料在1280~1350℃下保温烧结1.5~3小时,冷却后得到最终的微波器件陶瓷基板材料。
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