一种PECVD真空腔体间内置封合装置

摘要

本发明系提供一种PECVD真空腔体间内置封合装置，通过外部气压缸带动齿轮组，使齿轮组在一定范围内旋转，又齿轮组连接一连杆，连赶上设置有致动块，用以锁固真空封合板，使封合板能随齿轮组旋转做90度的上下开合动作，达到真空腔体间的封合，本发明结构简单，安装容易，且完全不需电动力进行封合板的驱动，对于后续使用的可靠度相当高，又同时设置于真空腔体内，不需额外在制作一小腔体放置封合装置，大幅减少真空溅镀线的产线总长度，大幅减少设备投入成本。

主权项

一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其特徵在于一气压缸11、直向移动齿轮12、圆形齿轮13、连杆14、封合板致动片15、封合板16、封合板密封圈17及连杆固定座18所组成。