汽相沉积装置及汽相沉积方法

摘要

本发明之汽相沉积装置系在比喷洒板之对向于基板保持构件之区域更外侧，且在喷洒头与喷洒板之接面之间配设空间，在喷洒板之配设有空间之区域部份设置与反应室内连通之复数个贯通孔，通过贯通孔导入冲洗气体。藉此，使存在于非加热区域部之喷洒板表面之原料气体流向气体排出口侧，进而可使角部不易产生滞留区域。因此，可减少形成于喷洒板表面之生成物，确保被处理基板上之膜均一性及膜再现性。