发明名称 制造包括透明电极的透明元件之方法
摘要 一种制造包括透明电极之透明元件的方法,此方法包含以下步骤:在一透明基板(1)之至少一部分的表面上,沈积一层亦为透明的导电氧化物(2),和藉由沿着所欲之电极(4,6,8)的轮廓移除氧化物以便产生一修整线(10)而在导电氧化物层(2)中形成至少一电极(4),该电极(4)经由一导电路径(6)连接至一接触垫(8),该修整线将其于导电氧化物层(2)中形成该电极(4,6,8)且将被连至一电位的部分(12),与导电氧化物层(2)中将为浮置的剩余部分(14)彼此隔离,此方法之特征在于:沿第一修整线(10)的周边而形成至少一第二修整线(10')。
申请公布号 TWI391980 申请公布日期 2013.04.01
申请号 TW095120230 申请日期 2006.06.07
申请人 瑟拉公司 瑞士 发明人 真卡若 宝莉;乔辛 葛卢普
分类号 H01L21/00;H01L21/44;H01L33/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 瑞士
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