| 发明名称 | 多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器，涉及多晶铸锭炉生产装置，质量流量控制器前端增加过滤器；过滤器通过卡箍及密封圈连接到质量流量控制器。过滤器的一端口径与质量流量控制器口径相同，另一端口径与氩气进气管道相同。所述过滤器是指精密过滤器中的一种。所述过滤器能滤去氩气的微小杂质颗粒。所述过滤器所承受的压力为0.25MPa以上。本实用新型的有益效果是：质量流量控制器前端增加过滤器，可以进一步净化氩气里边的杂质，避免MFC出现故障，减少设备故障率，节约维修费用，降低生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN202830229U | 申请公布日期 | 2013.03.27 |
| 申请号 | CN201220455120.7 | 申请日期 | 2012.09.09 |
| 申请人 | 安阳市凤凰光伏科技有限公司 | 发明人 | 张永坦;孙志刚;刘茂华;韩子强;石坚;赵会前;印亚峰;姚嵩 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B28/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 安阳市智浩专利代理事务所 41116 | 代理人 | 王好勤 |
| 主权项 | 多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器，其特征在于：质量流量控制器前端增加过滤器；过滤器通过卡箍及密封圈连接到质量流量控制器。 | ||
| 地址 | 456400 河南省安阳市滑县产业聚集区大三路南侧 | ||