发明名称 A method of forming aligned oxide patterns by electrolytic action on opposite surfaces of a wafer of semiconductor material
摘要
申请公布号 GB1143480(A) 申请公布日期 1969.02.19
申请号 GB19660040906 申请日期 1966.09.13
申请人 RADIO CORPORATION OF AMERICA 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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