发明名称 |
MEMS麦克风接线板 |
摘要 |
本实用新型涉及一种MEMS麦克风接线板,其包括基板和安装在基板上的MEMS芯片,MEMS芯片上设有MEMS振膜,MEMS振膜的上方设有用于限制其过度形变的限位装置;限位装置包括设在MEMS芯片两侧的基板上的焊接衬底和焊接在两焊接衬底之间并横跨过MEMS振膜上方的至少一根焊接金线;焊接金线交叉设置两根或平行间隔设置多根;限位装置可包括横跨在MEMS振膜上方的限位板和设在MEMS芯片两侧的基板上用于安装限位板的限位板支撑台。限位装置还可为扣在MEMS振膜上方的限位罩。本实用新型结构简单,设计精巧,有效避免了MEMS振膜因过度形变而损坏的现象,从而延长了MEMS振膜的使用寿命。 |
申请公布号 |
CN202841518U |
申请公布日期 |
2013.03.27 |
申请号 |
CN201220537483.5 |
申请日期 |
2012.10.20 |
申请人 |
山东共达电声股份有限公司 |
发明人 |
万景明;杨少军;张继栋 |
分类号 |
H04R19/04(2006.01)I;H04R7/02(2006.01)I |
主分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
代理机构 |
潍坊鸢都专利事务所 37215 |
代理人 |
尹金华 |
主权项 |
一种MEMS麦克风接线板,包括基板(1)和安装在基板(1)上的MEMS芯片(2),MEMS芯片(2)上设有MEMS振膜(3),其特征是所述MEMS振膜(3)的上方设有用于限制其过度形变的限位装置。 |
地址 |
261200 山东省潍坊市坊子区凤山路68号 |