基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法

摘要

本发明涉及一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，包括以下步骤：对获取的图像数据进行数据提取，以获得被测物体上表面每个点的高度数据；用户判断高度图像是否倾斜，是否需要进行倾斜校正；若需要进行倾斜校正，则将测量的上表面拟合成一个倾斜平面，并确定一个标准平面，将拟合面上每一点的高度数据都经过一个过程而变换至标准面上，同时将测量得到的每个点的高度数据经过同一个过程进行变换后得到校正数据，从而实现对微纳物体三维图像的倾斜校正。本发明提供的方法可以有效实现微纳物体三维图像z方向实质性的倾斜校正，使得到的图像更加准确的反应出被测样品的实际情况。

主权项

一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，其特征在于，包括以下步骤：对获取的图像数据进行数据提取，以获得被测物体上表面每个点的高度数据；用户判断高度图像是否倾斜，是否需要进行倾斜校正；若需要进行倾斜校正，则将测量的上表面拟合成一个倾斜平面，并确定一个标准平面，将拟合面上每一点的高度数据都经过一个过程而变换至标准面上，同时将测量得到的每个点的高度数据经过同一个过程进行变换后得到校正数据，从而实现对微纳物体三维图像的倾斜校正。