晶体硅太阳能电池扩散炉进出气体稳定装置

摘要

本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池扩散炉进出气体稳定装置，它包括炉管（1）、进气管（2）以及排气管（3），其特征在于所述进气管（2）以及排气管（3）从炉管（1）的尾部伸入炉管（1）内，所述进气管（2）与排气管（3）分别位于炉管（1）的上部与下部，所述进气管（2）的下表面设置有多个进气孔（4），所述排气管（3）的上表面设置有多个排气孔（5）。本实用新型由于进气管的下表面设置有多个进气孔，排气管的上表面设置有多个排气孔，通入的反应气体可以通过进气管多点进气和排气管多点排气，气流从各个气孔进出，平行流过硅片表面，使得气体在炉管内分布均匀，提高整管磷扩散的片间、片内方阻均匀性。

主权项

一种晶体硅太阳能电池扩散炉进出气体稳定装置，它包括炉管（1）、进气管（2）以及排气管（3），其特征在于所述进气管（2）以及排气管（3）从炉管（1）的尾部伸入炉管（1）内，所述进气管（2）与排气管（3）分别位于炉管（1）的上部与下部，所述进气管（2）的下表面沿进气管（2）的长度方向设置有多个进气孔（4），所述排气管（3）的上表面沿排气管（3）的长度方向设置有多个排气孔（5）。