| 摘要 |
Микромеханический датчик, содержащий корпус, чувствительный элемент из монокристаллического кремния, преобразователь перемещений, отличающийся тем, что преобразователь перемещений сформирован на гибком конформном носителе, а сама гибкая конформная пленка закреплена на спиралеобразном кронштейне с выходными колодками причем спиралеобразный кронштейн расположен с обратной стороны корпуса, на котором закреплен чувствительный элемент. |
