双滚轮非接触式厚度测量系统

摘要

一种双滚轮非接触式厚度测量系统，系于一机体上配置互相平行的一第一滚轮与一第二滚轮，一基准导电板固定地配置在第一滚轮及第二滚轮之间，以及一位移感测器，例如涡电流－电容位移感测器，配置在基准导电板上方，且位移感测器能够沿着基准导电板的长向移动；一待测量物，例如一薄膜或一板材位于该第一滚轮与该第二滚轮顶缘且不接触基准导电板，而位移感测器可以自基准导电板与待测量物表面分别撷取一测量讯号用以计算得到待测量物的厚度。如此可以使该厚度测量系统具有低的制造与使用成本。