具有通孔的水平交指型电容器

摘要

本发明提供了一种半导体器件。该半导体器件包括具有表面的衬底，该表面由第一轴和与第一轴垂直的第二轴限定；以及设置在衬底上的电容器，该电容器具有：包括多个第一导电部件的阳极元件和包括多个第二导电部件的阴极元件。第一导电部件和第二导电部件每一个都包括沿着第一轴延伸的两条金属线。至少一个金属通孔沿着与衬底的表面垂直的第三轴延伸并且互连两条金属线。第一导电部件沿着第二轴和第三轴均与第二导电部件相互交错。本发明提供了具有通孔的水平交指型电容器。

主权项

一种半导体器件，包括：具有表面的衬底，所述表面由第一轴和与所述第一轴垂直的第二轴限定；以及电容器，被设置在所述衬底上，所述电容器具有：包括多个第一导电部件的阳极元件和包括多个第二导电部件的阴极元件，其中，所述第一导电部件和所述第二导电部件每一个都包括：两条金属线，沿着所述第一轴延伸，以及至少一个金属通孔，沿着与所述衬底的所述表面垂直的第三轴延伸并互连所述两条金属线；以及所述第一导电部件沿着所述第二轴和所述第三轴均与所述第二导电部件相互交错。