一种多晶硅铸锭坩埚防护装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭坩埚防护装置，包括由竖板两两相连合围而成的护板及分别设置在所述护板上、下端的盖板和底板，所述盖板扣合在所述护板的上端开口处形成用于放置多晶硅铸锭坩埚的内部空间，所述盖板主要由C/C板和结合在C/C板下板面的金属板组成，所述金属板的熔点大于1800K；所述护板上部开有出气孔且所述出气孔对应于所述多晶硅铸锭坩埚的上方，所述盖板上开有贯穿C/C板和金属板的进气孔，通过进气孔与出气孔对所述内部空间进行换气通风，改善铸锭过程的气体循环以纯化多晶硅熔化和再生长的环境。可大幅度减少多晶硅中C、O等杂质的含量，提高了硅料的利用率和切片得率，硅片的电池转换效率可提高0.2%以上。

主权项

一种多晶硅铸锭坩埚防护装置，包括由竖板两两相连合围而成的护板及分别设置在所述护板上、下端的盖板和底板，所述盖板扣合在所述护板的上端开口处形成用于放置多晶硅铸锭坩埚的内部空间，其特征在于：所述盖板主要由C/C板和结合在C/C板下板面的金属板组成，所述金属板的熔点大于1800K；所述护板上部开有出气孔且所述出气孔对应于所述多晶硅铸锭坩埚的上方，所述盖板上开有贯穿C/C板和金属板而用于向所述内部空间中输送保护气体的进气孔，通过进气孔与出气孔对所述内部空间进行换气通风，改善铸锭过程的气体循环以纯化多晶硅熔化和再生长的环境。