| 发明名称 | 薄膜晶体管及包括该薄膜晶体管的平板显示装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及包括含有非晶12CaO·7Al2O3(C12A7)的沟道层的薄膜晶体管以及包括该薄膜晶体管的平板显示装置。根据本发明，所述非晶沟道层可用C12A7在低温下形成。包括所述非晶沟道层的薄膜晶体管具有优异的电子迁移率。 | ||
| 申请公布号 | CN101527321B | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN200910005696.6 | 申请日期 | 2009.02.19 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 河载兴;宋英宇;李锺赫;金容铎 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 徐江华;王珍仙 |
| 主权项 | 一种薄膜晶体管，包括：形成在基板上的栅极；与所述栅极绝缘的源极和漏极；与所述栅极绝缘并电连接所述源极和漏极的沟道层；和布置在所述沟道层和所述栅极之间的绝缘层，其中所述沟道层包括非晶12CaO·7Al2O3。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||