机械手以及基板搬送装置

摘要

本实用新型提供机械手和基板搬送装置，能够高效地对基板进行除电。为了解决上述课题，构成机械手和具备所述机械手的基板搬送装置，所述机械手具备多个叉、作为产生部的静电除去装置和作为喷出部的喷出孔。上述多个叉用于载置基板。上述静电除去装置设于上述叉的内部，用于产生离子化的气体。上述喷出孔用于将由上述静电除去装置产生的离子化的气体喷出。

主权项

一种机械手，其特征在于，所述机械手具备：多个叉，所述多个叉用于载置基板；产生部，所述产生部设于所述叉的内部，用于产生离子化的气体；以及喷出部，所述喷出部用于将由所述产生部产生的所述气体喷出。