一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板

摘要

本实用新型目的一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，包括一加热板，该加热板以阶梯形状被分隔形成三个加热区域；加热源，其被嵌设在三个加热区域中；加热板下方设置一外盖与加热板紧密锁固，电源控制器，其与加热源耦合连接；其中，所述的加热板设置为阶梯形状，不同加热源对应不同辐射热距离，可藉由调整个别的加热功率达到衬底上温度梯度的调整，使衬底中间区域与边缘区域的温度均匀，本实用新型所提供的一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，尤其适用于在大尺寸的衬底上沉积薄膜，在加热过程中提供衬底极好的温度均匀性，使得沉积的薄膜因此具有良好的均匀性。

主权项

一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，包括一加热板，该加热板以阶梯形状被分隔形成三个加热区域；加热源，其被嵌设在 三个加热区域中；加热板下方设置一外盖与加热板紧密锁固，电源控制器，其与加热源耦合连接。