一种制作空气桥的方法

摘要

本发明公开了一种制作空气桥的方法，该方法仅使用一种光刻胶，具体包括：A、在基片上旋涂光刻胶，光刻、显影，制作桥墩图形；B、对制作了桥墩图形的基片进行高温固化；C、在高温固化后的基片上旋涂第二层同种光刻胶，光刻、显影，制作桥面图形；D、蒸发金属，布线；E、进行金属剥离；F、溶掉高温固化后的光刻胶。本发明仅使用一种光刻胶制作空气桥，有效地节约成本，工艺操作简单，可控性好。

主权项

一种制作空气桥的方法，其特征在于，该方法仅使用一种光刻胶，具体包括：A、在基片上旋涂光刻胶，光刻、显影，制作桥墩图形；B、对制作了桥墩图形的基片进行高温固化；C、在高温固化后的基片上旋涂第二层同种光刻胶，光刻、显影，制作桥面图形；D、蒸发金属，布线；E、进行金属剥离；F、溶掉高温固化后的光刻胶；其中，步骤A和C中所述光刻胶为AZ52系列和S18系列光刻胶，且步骤A和C中采用的光刻胶相同，厚度均为0.6至3μm，步骤C中所述光刻胶的剖面为倒梯形以利于金属的剥离；步骤A中所述在基片上旋涂光刻胶后，在温度80至115℃下烘烤30至200秒；步骤B中所述对制作了桥墩图形的基片进行高温固化采用烘箱、热板或合金处理炉，温度在100摄氏度到200摄氏度之间；步骤C中所述在基片上旋涂第二层同种光刻胶后，在温度80至115℃下烘烤30至200秒；步骤E中所述进行金属剥离是将蒸发一层金属材料后的基片浸泡在丙酮中，除去上面的光刻胶和第二层光刻胶上面的金属；步骤F中所述溶掉高温固化后的光刻胶是将基片置于二甲基吡咯烷酮中，在100摄氏度下加热，至少浸泡15分钟，然后依次用丙酮、乙醇和去离子水冲洗。