发明名称 |
刻蚀电极机构中的上电极 |
摘要 |
刻蚀电极机构中的上电极,包括气体喷孔(1)、安装孔(3),上电极设置成圆台(5),圆台(5)按规律设置有辅助气体分配的沟槽(2),沟槽(2)上等间距设置有气体喷孔(1)。本实用新型结构简单,操作方便,具有对等离子工作气体的分配功能、具有密封功能、与电场接触的一面具有绝缘特性、耐腐蚀性另一面具有导电性能用于连接1000V正电,提高了加工质量和工作效率,降低了生产成本。 |
申请公布号 |
CN202816865U |
申请公布日期 |
2013.03.20 |
申请号 |
CN201220156302.4 |
申请日期 |
2012.04.14 |
申请人 |
靖江先锋半导体科技有限公司 |
发明人 |
游利 |
分类号 |
H01J37/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/32(2006.01)I |
代理机构 |
靖江市靖泰专利事务所 32219 |
代理人 |
陆平 |
主权项 |
刻蚀电极机构中的上电极,包括气体喷孔(1)、安装孔(3),其特征在于:上电极设置成圆台(5),圆台(5)按规律设置有辅助气体分配的沟槽(2),沟槽(2)上等间距设置有气体喷孔(1)。 |
地址 |
214500 江苏省泰州市靖江市经济开发区城南工业园区北六圩 |