复合式等离子体表面处理装置

摘要

本实用新型提供了一种复合式等离子体表面处理装置。特别地该表面处理装置具有一个真空腔，真空腔外侧设有可放电在真空腔内侧形成等离子体的外正电极和外负电极，真空腔内侧设有放料辊、收料辊、转鼓、内正电极板和内负电极板，其中转鼓为可于真空腔内外侧进出切换的容器单元，内正电极板和内负电极板为可于水平向及竖直向翻转切换的板件单元，外正电极、外负电极、内正电极板和内负电极板外连至电控器。应用本实用新型该种表面处理装置，突破了不同材料类型及本身形状的限制，增广了适用范围；并且，切换操作简便，提高了处理装置的整体利用率，降低了生产成本，实现了生产自动化。

主权项

复合式等离子体表面处理装置，其特征在于：所述表面处理装置具有一个真空腔，所述真空腔外侧设有可放电在真空腔内侧形成等离子体的外正电极和外负电极，所述真空腔内侧设有放料辊、收料辊、转鼓、内正电极板和内负电极板，其中所述转鼓为可于真空腔内外侧进出切换的容器单元，所述内正电极板和内负电极板为可于水平向及竖直向翻转切换的板件单元，所述外正电极、外负电极、内正电极板和内负电极板外连至电控器。