模块化结构真空涂覆系统

摘要

本发明涉及一种具有多个功能腔的模块化结构真空涂覆系统，该多个功能腔被沿着纵向范围一个接一个地布置，在该纵向范围中，使基底在基座传送区中移动通过腔，其具有如下问题：降低在对真空涂覆系统供应介质中所涉及的生产相关的以及安装相关的支出。该问题由功能腔解决，该功能腔作为第一子模块被布置在设置有外接口的模块中，该外接口对于至少一个第二模块是相同的。

主权项

一种模块化结构真空涂覆系统，所述真空涂覆系统具有多个功能腔（8），所述多个功能腔（8）被沿着纵向范围一个接一个地布置，在所述纵向范围中，使基底在基底传送区中移动通过所述腔（8），其特征在于，功能腔（8）作为第一子模块（18）被布置在模块（19）中，所述模块（19）设置有外接口（20），所述外接口（20）被构造成与至少一个第二模块（19）的外接口相同。