准分子激光器复合腔

摘要

本发明公开了一种准分子激光器复合腔，包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和激光放大模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成一个线宽压窄腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和激光放大模块构成一个放大腔，用于对所述经线宽压窄后的激光进行能量放大。本发明不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，而且通过复合腔的设计，可以提高输出激光的能量及稳定性，同时本发明的复合腔结构简单，便于加工，调谐方便。

主权项

一种准分子激光器复合腔，包括激光放电腔和激光输出模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，其特征在于，还包括线宽压窄模块和激光放大模块，其中，所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成一个线宽压窄腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和激光放大模块构成一个放大腔，用于对所述经线宽压窄后的激光进行能量放大；以及所述激光输出模块用于将经线宽压窄且能量放大的激光进行输出。