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发明名称
于扫描离子植入期间之改良之离子束利用
摘要
本发明系关于一种于序列式植入制程中将离子植入一工件之中,以致可产生一和该工件的大小、形状、及/或其它尺寸态样相仿的扫描图案。当一让该工件往复通过的离子束未明显「过冲」该工件时,此作法便可改良效率与产量。不过,该扫描图案可能略大于该工件,俾使于小量的「过冲」内可考量到当该工件反转来回往复的方向时和该工件的方向、速度、及/或加速度等变化相关联的惯性效应。此作法有助于以非常固定的速度来移动该工件通过该离子束,从而有助于达成实质上更均匀的离子植入。
申请公布号
TWI389181
申请公布日期
2013.03.11
申请号
TW094131619
申请日期
2005.09.14
申请人
艾克塞利斯科技公司 美国
发明人
麦可 葛瑞夫;安德鲁 芮
分类号
H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址
美国
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