| 摘要 |
本发明系为实现被设为真空的腔室(16)之小型化，将压力感测器设于腔室(16)外，利用腔室(16)之筒状形状来形成筒状之柱塞(7)可以出没的汽缸室(17)。基于腔室(16)内之负压(22)而于受压部(2)与加压部(1)会产生互相吸引之力，但由逆向对汽缸室(17)内施予同等之流体之压力(19)，按压筒状柱塞(7)而于筒状柱塞产生加压力(20)，藉此而使该吸引之力被筒状柱塞之加压力(20)抵消。对于被压印平台部转印的基板等之荷重，可依据驱动部(11)之驱动力进行高精确度之控制。;另外，为进行高精确度之平行度模仿，精密压印装置具备：受压部(2)，被固定于导引柱部(3)；加压部(1)，介由保持器(70)而滑动于导引柱部(3)上；压印平台部(50a、50b)，被装配于受压部(2)与加压部(1)之各对向面；及驱动部(11)，用于介由轴承构件(活动轴承)(10)驱动加压部(1)。在受压部(2)与导引柱部(3)之间及/或上述加压部与保持器之间存在弹性体(60)，藉由弹性体(60)之变形使两压印平台部(50)之面彼此被互相模拟，而可以将施加于两压印平台部(50)之荷重设为均匀。 |
