发明名称 测试系统、电子元件以及测试装置
摘要 一种测试系统,对被测试元件进行测试,其包括:多个测试用内置电路,设置于被测试元件的内部,用于对被测试元件的动作电路进行测试;元件侧控制部,经由共用汇流排而电性连接于多个测试用内置电路,将与所给予的外部信号相对应的元件内控制信号供给至共用汇流排,藉此来控制各个测试用内置电路;以及测试装置,将外部信号供给至元件侧控制部。
申请公布号 TWI388858 申请公布日期 2013.03.11
申请号 TW098118031 申请日期 2009.06.01
申请人 爱德万测试股份有限公司 日本 发明人 渡边大辅;冈安俊幸
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 日本